壓力傳感器在汽車上的使用

現(xiàn)在，壓力傳感器是典范的汽車傳感器，它寬泛地使用在汽車上。汽車壓力傳感器的經(jīng)歷首先于1979年，用于引擎焚燒控制的多種統(tǒng)統(tǒng)壓力傳感器。隨后，它被寬泛地用于高壓場所，如懸掛壓力探測和空調(diào)制冷壓力探測。在引入OBD（車載自動診斷系統(tǒng)）后，壓力傳感器也擴大到了低壓場所，如揮發(fā)的汽油走漏探測?，F(xiàn)在，壓力傳感器更進一步地擴大到了高壓場所，如汽油焚燒放射和柴油共軌焚燒放射系統(tǒng)。鮮明，壓力傳感器在汽車上有廣闊的開展前景。

壓力傳感器工作原理片面

壓力傳感器可以廣義地分為三類：壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。

底下，本文將先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，再介紹使用于汽車的MEMS技術(shù)智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。

壓阻式壓力傳感器

壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件，它是基于壓阻效應(yīng)工作的。所謂壓阻元件實際上即是指在半導(dǎo)體質(zhì)料的基片上用集成電路工藝制成的分散電阻，當(dāng)它受外力好處時，其阻值由于電阻率的變更而轉(zhuǎn)變。分散電阻平常工作時需依附于彈性元件，常用的是單晶硅膜片。

壓阻芯片采用周邊固定的硅杯布局，封裝在外殼內(nèi)。在一塊圓形的單晶硅膜片上，安插四個分散電阻，兩片位于受壓應(yīng)力區(qū)，另外兩片位于受拉應(yīng)力區(qū)，它們構(gòu)成一個全橋測量電路。硅膜片用一個圓形硅杯固定，雙方有兩個壓力腔，一個和被測壓力相持續(xù)的高壓腔，另一個是低壓腔，接參考壓力，通常和壓大氣雷同。當(dāng)存在壓差時，膜片產(chǎn)生變形，使兩對電阻的阻值發(fā)生變更，電橋落空平均，其輸出電壓反映膜片雙方蒙受的壓差大小。