壓力傳感器在汽車上的使用
現(xiàn)在,壓力傳感器是典范的汽車傳感器,它寬泛地使用在汽車上。汽車壓力傳感器的經(jīng)歷首先于1979年,用于引擎焚燒控制的多種統(tǒng)統(tǒng)壓力傳感器。隨后,它被寬泛地用于高壓場所,如懸掛壓力探測和空調(diào)制冷壓力探測。在引入OBD(車載自動診斷系統(tǒng))后,壓力傳感器也擴大到了低壓場所,如揮發(fā)的汽油走漏探測?,F(xiàn)在,壓力傳感器更進一步地擴大到了高壓場所,如汽油焚燒放射和柴油共軌焚燒放射系統(tǒng)。鮮明,壓力傳感器在汽車上有廣闊的開展前景。
壓力傳感器工作原理片面
壓力傳感器可以廣義地分為三類:壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
底下,本文將先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理,再介紹使用于汽車的MEMS技術(shù)智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。
壓阻式壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件,它是基于壓阻效應(yīng)工作的。所謂壓阻元件實際上即是指在半導(dǎo)體質(zhì)料的基片上用集成電路工藝制成的分散電阻,當(dāng)它受外力好處時,其阻值由于電阻率的變更而轉(zhuǎn)變。分散電阻平常工作時需依附于彈性元件,常用的是單晶硅膜片。
壓阻芯片采用周邊固定的硅杯布局,封裝在外殼內(nèi)。在一塊圓形的單晶硅膜片上,安插四個分散電阻,兩片位于受壓應(yīng)力區(qū),另外兩片位于受拉應(yīng)力區(qū),它們構(gòu)成一個全橋測量電路。硅膜片用一個圓形硅杯固定,雙方有兩個壓力腔,一個和被測壓力相持續(xù)的高壓腔,另一個是低壓腔,接參考壓力,通常和壓大氣雷同。當(dāng)存在壓差時,膜片產(chǎn)生變形,使兩對電阻的阻值發(fā)生變更,電橋落空平均,其輸出電壓反映膜片雙方蒙受的壓差大小。
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