半導(dǎo)體是指常溫下介于導(dǎo)體和絕緣體之間具有導(dǎo)電性的材料。半導(dǎo)體的可控導(dǎo)電性使其在科學(xué)、技術(shù)和經(jīng)濟(jì)中發(fā)揮著非常重要的作用。半導(dǎo)體行業(yè)最上游是硅片制造,硅片行業(yè)實際上是由“硅的初步提純、多晶硅制造、硅晶圓的制造”三個子行業(yè)組成的。

而真空設(shè)備又廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。在工業(yè)生產(chǎn)中,真空主要用于減少工作空間的空氣,保持工作空間的清潔。真空設(shè)備的使用是要遵循生產(chǎn)要求的,半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)中使用真空設(shè)備,使得員工工作區(qū)域的噪聲水平大大降低,以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)要求。

因為在半導(dǎo)體制造行業(yè),除了超凈環(huán)境外,有些加工環(huán)節(jié)必須在真空環(huán)境下進(jìn)行。大氣中充滿了氮氣、氧氣和其他氣體分子,它們一直在運動。當(dāng)這些氣體分子移動到物體表面時,其中一些會附著在物體表面。雖然這對我們的日常生活不會有太大影響,但是這些細(xì)微的變化會給半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)帶來各種麻煩。

通常,半導(dǎo)體器件包含各種材料,如果氣體分子混合在這些不同的材料層之間,器件的電學(xué)或光學(xué)特性就會受到損害。例如,當(dāng)要在晶體層上外延生長一層晶體時,吸附在底部晶體表面的氣體分子會阻止其上的原子按照晶格結(jié)構(gòu)有序排列,導(dǎo)致外延層中出現(xiàn)大量缺陷。在嚴(yán)重的情況下,晶體不能擴(kuò)展,只能獲得多晶或無序原子排列的非晶。

因此,為了獲得干凈的晶體表面,通常需要將氣體分子的密度降低到大氣密度的幾億倍,即獲得真空環(huán)境。為此,人們制造了大大小小的密封容器,并發(fā)明了各種真空泵來將空氣從這些密封容器中抽出,使它們內(nèi)部成為真空環(huán)境。

不過,半導(dǎo)體行業(yè)中使用的真空設(shè)備是有嚴(yán)格要求的,必須要對真空度進(jìn)行嚴(yán)格把控。半導(dǎo)體元件真空生產(chǎn)環(huán)境中有嚴(yán)格的真空度標(biāo)準(zhǔn),只有在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)才能保證元件的生產(chǎn)質(zhì)量,對于真空度的監(jiān)測一般使用的是熱導(dǎo)傳感器。熱導(dǎo)傳感器是真空科學(xué)研究和真空測試技術(shù)的重要檢測元件?；谄だ嵩淼臒釋?dǎo)傳感器廣泛用于測量105帕至10-1帕的粗真空。

對于真空度測量儀器的選擇,工采網(wǎng)代理了兩款熱導(dǎo)式傳感器,瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - MTCS2601和荷蘭Xensor 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - XEN-TCG3880。MTCS2601對安裝位置不敏感,可以使用在串?dāng)_氣體環(huán)境中,與一個簡單恒定的溫度電路兼容。XEN-TCG3880適用于10mPa～10KPa 之間的真空度測量。